Existuje mnoho způsobů přípravy tenkého filmu amorfního křemíku solární panely . Patří mezi ně reaktivní naprašování, PECVD, LPCVD atd. Reaktantový plyn je siH4 zředěný H2. Substrátem jsou převážně skleněné a nerezové plechy a nekvalitní křemíkové filmy z nich vyrobené mohou být použity k získání single junction článků a tandemových solárních článků, v tomto pořadí, prostřednictvím různých buněčných procesů.

Amorfní křemíkové solární články mají velký potenciál díky své vysoké účinnosti konverze, nízké ceně a nízké hmotnosti. Zároveň však pro svou nízkou stabilitu přímo ovlivňuje jeho praktické použití. Pokud to může dále vyřešit problém stability a zlepšit konverzní poměr. Amorfní křemíkové solární články jsou pak bezpochyby jedním z hlavních vývojových produktů solárních článků.

Vícesložkové tenkovrstvé solární články Aby bylo možné najít náhradu za monokrystalické křemíkové články, vyvinuli lidé vedle polykrystalického křemíku a tenkovrstvých solárních článků z amorfního křemíku solární články z jiných materiálů. Patří mezi ně hlavně sloučeniny arsenidu galia III-V skupiny, sulfid kademnatý, telurid kademnatý a tenkovrstvé baterie selenidu mědi a india. Mezi výše uvedenými bateriemi, ačkoli účinnost polykrystalických tenkovrstvých baterií z teluridu kademnatého a sulfidu kademnatého je vyšší než u amorfních křemíkových tenkovrstvých solárních článků, jsou náklady nižší než u jednoproduktových křemíkových baterií a lze je snadno sériově vyrábět, ale protože je kadmium vysoce toxické, způsobí vážné znečištění životního prostředí, a proto není nejideálnější náhradou za krystalické křemíkové solární články. Sloučeniny arsenidu galia III-V a tenkovrstvé baterie selenidu mědi a india získaly širokou pozornost díky své vysoké účinnosti konverze.